株式会社テクノ菱和

LSIのパターン寸法が0.5μm以下になると、LSIの品質はクリーンルームの浮遊微粒子の粒径と濃度の影響だけでなく、シリコン表面の原子レベルに影響するケミカル成分による汚染が歩留まりを左右します。これらの物質は浮遊微粒子より小さい、分子状・ガス状物質で、対策としてケミカルフィルタによる除去、水による吸着、発生する材料の選定などが行われています。